ロームはこのほど、薄膜圧電素子を活用したMEMS（Micro Electro Mechanical System）のプロセスを確立し、ウエハ引き上げから実装までの製品設計・製造工程を一貫して行う業界初*のファウンドリ事業を実施し、多様なニーズに対応しています。顧客が求めているもの。

圧力が加えられると電圧を生成する固有の特性を持つ圧電素子は、従来のインクジェットプリントヘッドから赤外線カメラや標準カメラのオートフォーカスシステムに至るまで、さまざまな電子デバイスに組み込まれています。

これらの要素を、加速度計やジャイロスコープで一般的に使用される MEMS テクノロジーと組み合わせることで、設計を簡素化し、処理コントローラーのサイズを縮小することが可能になり、性能の向上、コストの削減、最終製品の大幅な小型化に貢献します。また、圧電素子自体の待機時の消費電力が極めて少ない省エネ特性もあり、特に大きな成長が見込まれるセンサー市場において注目が高まっています。

ロームでは、お客様のご要望に応じた圧電MEMS製品の共同開発を開始しており、産業用インクジェットプリンタやセンサー、ウェアラブルデバイスなどの成長市場に対応するため、生産ラインを段階的に拡充してきました。ロームでは今後も圧電素子とMEMS技術の融合を進め、さらなる小型化・省エネルギー化を実現していきます。

しかし、圧電MEMSのデバイスの作成において、高い圧電特性を有する薄膜堆積およびマイクロ圧電素子の精密加工および成形が実現するのは困難である。さらに、高精度な処理がMEMSに必要とされるブロックを駆動し、追加の知識と専門 - 新技術の育成に伴い - 次世代アプリケーションおよび新興市場をサポートするために必要とされる。

こうした課題に応えるため、ロームでは薄膜圧電素子の研究に取り組んでいます。神戸大学大学院工学研究科の菅野伊作教授による薄膜圧電素子の評価測定法に関する知見をベースに、ロームグループをはじめとするロームグループ全体の生産技術を結集して開発シナジーを発揮ロームの長期メモリで培った強誘電体技術、ラピスセミコンダクタの高感度MEMS・実装技術、キオニクスのMEMS微細化技術により、ラピスセミコンダクタ宮崎に製造プロセスを確立し、様々な市場や用途に最適な圧電MEMSを提供することができました。。

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